DK rozprašovací povlak

Magnetron rozprašovací povlak

Další forma technologie povlaku PVD.

Plazmový povlak

Magnetron rozprašování je proces povlaku v plazmě, přičemž rozprašovací materiál je vypuštěn kvůli bombardování iontů na cílovou plochu. Vakuová komora potahovacího stroje PVD je naplněna inertním plynem, jako je argon. Nanesením vysokého napětí se vytvoří výtok záře, což vede ke zrychlení iontů na cílový povrch a plazmový povlak. Argonové ionty vysunou rozprašovací materiály z cílového povrchu (rozprašování), což má za následek rozprašovanou vrstvu povlaku na produktech před cílem.

Reaktivní rozprašování

Často se používá další plyn, jako je dusík nebo acetylen, který bude reagovat s vypuštěným materiálem (reaktivní rozprašování). S touto technikou povlaku PVD je možné dosáhnout široké škály rozprašovaných povlaků. Technologie magnetronu rozprašování je velmi výhodná pro dekorativní povlaky (např. Ti, Cr, Zr a nitridy uhlíku), díky své hladké povaze. Stejná výhoda způsobuje, že magnetron rozprašování široce používané pro tribologický povlak na automobilových trzích (např. CRN, CR2N a různé kombinace s DLC povlakem - diamantový uhlíkový povlak).

Magnetická pole

Magnetron Spartring se poněkud liší od obecné technologie rozprašování. Rozdíl je v tom, že technologie magnetronu rozprašování používá magnetická pole k udržení plazmy před cílem a zintenzivňuje bombardování iontů. Výsledkem této technologie povlaku PVD je vysoce hustá plazma.

Charakter technologie magnetron rozprašování:

• Vodě chlazený cíl, takže se vytváří malé záření
• Téměř jakýkoli kovový cílový materiál může být roztrhán bez rozkladu
• Nevodivé materiály mohou být rozprašovány pomocí rádiové frekvence (RF)

nebo střední frekvence (MF)

• Oxidové povlaky mohou být roztrhány (reaktivní rozprašování)
• Vynikající jednotnost vrstvy
• Velmi hladké rozprašované povlaky (žádné kapičky)
• Katody (dlouhé až 2 metry) mohou být umístěny do jakékoli polohy, a proto vysoká flexibilita designu rozprašování zařízení

Nevýhoda technologie rozprašování magnetron.