Jaký je pracovní princip katodického oblouku?

Nejprve ze všeho je nápadní jehla (anoda) s pozitivním potenciálem blízko cíle (katoda) s negativním potenciálem. Když je vzdálenost mezi anodou a katodou dostatečně malá, plyn mezi oběma elektrodami se rozpadne a vytvoří proud oblouku, který je podobný oblouku zasažení elektrického svařování. V této době je část N2 ionizována za vzniku dusíkových kationtů a elektronů.

Dusíkový kation, který přitahuje sílu elektrického pole, bude létat na katodu poblíž cíle a elektron bude létat na zapalovací jehlu oblouku. Hmotnost iontu je však mnohem větší než hmotnost elektronu. Proto bude pod stejnou silou elektrického pole větší vzdálenost elektronu větší než vzdálenost kationtu. Proto, když elektron dosáhne anody, iont nedosáhne katodového cíle, ale bude létat na zapalovací jehlu ARC, vytvoří se pozitivní iontová akumulační vrstva poblíž cílové povrchu.

Vzdálenost mezi cílovým povrchem katody a cílovým povrchem katody je velmi malá, až na úroveň mikronu. Podle E = U / D je vidět, že elektrické pole v prostoru je v této době vysoké, což „vytáhne“ elektrony z cíle. Elektrony „tažené“ létají z cíle katody do pozitivní akumulační vrstvy akumulace iontů a vytvářejí proud. Stohovací vrstva je spojena s cílovým povrchem a poblíž cílového povrchu se generuje oblouk.

Současně budou kladné ionty přitahovány cílovým povrchem katody, díky čemuž pozitivní ionty bombardují cílový povrch a vytvářejí rozprašování. Vzhledem k tomu, že filmové částice buď odpařené nebo rozprašované musí projít pozitivní vrstvou akumulací iontů a v procesu létání z cílové povrchu katody, budou částice filmu ovlivněny obloukem na cílovém povrchu, takže částicemi, které přicházejí k obrobku, jsou iontovým stavem.

Negativní napětí zkreslení se obvykle aplikuje na obrobku, takže pozitivní ionty létají na obrobku pod působením síly elektrického pole a bombardují obrobku Výrobci přívěsů DLC . Toto bombardování zlepší adhezi filmu a učiní tření hustou, což je velmi prospěšné pro zlepšení kvality filmu.

Pokud se chcete dozvědět více, můžete nás také kontaktovat.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Sara

Telefon: 86-15867869979

E -mail: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979