Jaké jsou hlavní komponenty vakuového povlakového systému?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Jaké jsou hlavní komponenty vakuového povlakového systému?

1. vakuová komora

Potahovací zařízení Na vakuových komponentách jsou svařovány hlavně dvě formy: Produkční linka s kontinuálním povlakem a stroj na potah s jednou komorou, výroba materiálu z nerezové oceli, svařování oblouku argonu, ošetření povrchové chemické leštění a různé specifikace rozhraní příruby.

2, část získávání vakua

Ve vakuové technologii je důležitou součástí vakuové akviziční část. Získání vakua nelze dosáhnout jediným vakuovým zařízením a metodou. V kombinaci musí být použito několik čerpadel, jako jsou mechanická čerpadla, kořenová čerpadla, systémy molekulárních čerpadel atd.

3, část měření vakua

Vakuová část měření vakuového systému je měření tlaku ve vakuové komoře. Stejně jako vakuové čerpadlo nemůže žádný vakuový rozchod měřit celý rozsah vakua, takže lidé vyrobili mnoho typů vakuových měřidel podle různých principů a požadavků. Jako je měřič termočlánků, ionizační měřič, měřič pirani atd.

4. Část napájení

Cílové napájecí zdroje zahrnuje hlavně napájecí zdroj DC, napájení střední frekvence, napájecí zdroj pulsu a napájení rádiové frekvence (RF). Mezi běžné výrobce napájení patří AE, ADL, Hottinger atd.

5. Procesní vstupní systém plynu

Procesní plyny, jako je argon (AR), krypton (KR), dusík (N2), acetylen (C2H2), metan (CH4), vodík (H2), kyslík (O2) atd., Jsou obecně dodávány plynovými válci. Tlak s redukujícím tlak plynu, plynový zastavovací ventil, potrubí, měřič průtoku plynu, solenoidní ventil, piezoelektrický ventil a poté do vakuové komory. Výhodou tohoto systému vstupu plynu je, že potrubí je jednoduché a čiré a je snadné opravit nebo vyměnit plynový válec. Potahové stroje se navzájem neovlivňují. Existují také případy, kdy více povlakových strojů sdílí sadu plynových válců. Tuto situaci lze pozorovat v některých rozsáhlých nátěrových workshopech. Jeho výhodou je, že snižuje obsazenost plynových válců, sjednocené plánování a sjednocené rozvržení. Nevýhodou je, že vzhledem ke zvýšení počtu kloubů se zvyšuje pravděpodobnost úniku vzduchu. Navíc se potahovací stroje navzájem narušují a potrubí jednoho povlakového stroje může unikat vzduch, což může ovlivnit kvalitu produktu jiných povlakových strojů. Navíc při výměně plynových válců je nutné zajistit, aby všechny stroje byly ve stavu bez plynu.

6. Část mechanického přenosu

Povlak vyžaduje, aby tloušťka periferie musela být jednotná. Proto musí existovat tři rotace v procesu povlaku, aby splňovaly požadavky. To znamená, že zatímco je nutná velká tabulka obrobku (i), malý nosič obrobků se také otáčí (ii) a obrobku se může otáčet současně (iii). V mechanickém designu je ve středu spodní části osedicího obrového obsahu obecně velké hnací zařízení a některá malá hvězdná kola s ním zapadají. Pokud má být produkt otočen, obrobek se obecně otáčí řadicí vidličkou.

7, část měření zahřívání a teploty

Povlakové zařízení mají obecně ohřívače v různých polohách a termočlánky se používají k měření a řízení teploty. Protože však poloha upínání termočlánků se liší od polohy obrobku, čtení teploty nemůže být skutečnou teplotou obrobku. Pro měření skutečné teploty obrobku existuje mnoho metod, na obrobku můžete nainstalovat testovací papír s vysokou teplotou nebo termočlánkový měřič.

8. Zdroj odpařování a rozprašování iontů

Zdroj odpařování více artuálních pokovování je obecně ve tvaru kulatého dortu, běžně známého jako kulatý cíl dortu, a existují také obdélníkové cíle s více obdaly. V cílové základně je nainstalován magnet. Posunutím magnetu sem a tam se změní intenzita magnetického pole a lze upravit rychlost pohybu a trajektorie oblouku. Aby se snížila teplota cíle a cílové základny, musí být cílová základna nepřetržitě dodávána chladicí vodou. Aby bylo zajištěno vysoké elektrické a tepelné vodivosti mezi cílem a cílovou základnou, může být mezi cílovým a cílovým základně také přidáno plechové těsnění. Magnetron rozprašovací povlak obecně používá katody obdélníkových nebo válců.

9, Systém chlazení vody

Obecně se skládá z věže studené vody, stroje na ledovou vodu, vodního čerpadla atd.

10, průmyslový kontrolní systém

Podíl: