Jak vyřešit nejednotnost filmů magnetronu?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

, Uniformita a směr magnetického pole by měla být zajištěna tak, aby vytvořila relativně jednotné kosmické magnetické pole.

Za druhé, uniformita tlaku vzduchu by měla být zajištěna co nejvíce. Při navrhování vakuové komory, instalační polohy vakuového čerpadla, cesta Továrna na stroj na vakuové vrstvy odpařování příjmu procesního plynu a rozložení procesního potrubí v komoře.

Zatřetí, protože magnetické pole a tlak vzduchu nemůže být absolutně ideální, magnetické pole může být kompenzováno nejednotností tlaku vzduchu, aby se konečný filmový uniformu.

Začtvrté, cílová základní vzdálenost je také důležitým faktorem ovlivňujícím uniformitu.

Podíl: