Jak funguje magnetron rozprašovací vakuový potahový stroj- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Jak funguje magnetron rozprašovací vakuový potahový stroj

Magnetron rozprašování je oblíbená technika vakuového povlaku používaná k vytváření funkčních a dekorativních filmů pro širokou škálu aplikací. Tato technika se široce používá v elektronickém průmyslu, například při výrobě elektronických komponent, jako jsou mikroprocesory, paměťové čipy, mikrokontroléry a tranzistory.

Proces rozprašování zahrnuje bombardování cílového materiálu vysokým napětím DC nebo pulzním DC, RF nebo střídavým výkonem. Proces také vyžaduje, aby vysoce vakuum komora a čerpadla udržovala prostředí co nejčistší.

Před zahájením procesu rozprašování musí být komora naplněna vhodným plynem pro tento proces. Tento plyn je obecně argon, ale lze také použít i jiné plyny, jako je kyslík. Správný typ plynu závisí na uložených specifických materiálech a jaké vlastnosti jsou potřebné pro to, aby povlak provedl zamýšlenou funkci.

V závislosti na procesu, který hledáte, se bude napájecí systém lišit, ale všechny mají stejný základní princip: vysoký napětí DC nebo pulzní DC výkonové toky protéká katodou, kde sedí pistolí a cílový materiál. Tato síla se musí před úplným spuštěním depozičního procesu zvýšit z nižšího napětí.

Samotná katoda je namontována nad substrátem a může být kulatá nebo obdélníkový tvar, aby vyhovoval vašim požadavkům na aplikaci. Konfigurace kulatého je nejlepší pro systémy s jedním substrátem, zatímco obdélníková katoda je ideální pro in-line systémy.

Po dokončení procesu rozprašování je čas načíst substrát do hlavní dispoziční komory a připravit jej na depozici. To se obvykle provádí připojením k držáku substrátu, který drží substrát a zajišťuje jej v komoře. Držák může mít také možnost načíst substrát dovnitř a ven bez ohrožení hladiny vakua.

V mnoha systémech magnetronu je substrát naložen do depoziční komory přes bránu, což jí umožňuje pohybovat se dovnitř a ven z komory zátěže bez ohrožení vakuového prostředí. To zabraňuje poškození substrátu nebo materiálů a umožňuje rychlou změnu depozičního materiálu.

Jakmile je substrát naložen, je umístěn uvnitř hlavní depoziční komory, kde bude umístěna náprav s požadovaným povlakovým materiálem a rozprašovací pistole pro plyn, který je čerpán do komory. Jakmile je plyn na místě, silné magnetické pole za cílovým materiálem vytváří podmínky pro rozprašování.

Během procesu rozprašování se na substrátu vysunuly ionty nabité vysoké energie. Tyto ionty mají vysokou iontovou hustotu, takže je relativně stabilní v rozprašovací atmosféře a vede k vysoké míře ukládání. Iontová morfologie materiálu rozprašovaného na povrchu bude záviset na několika faktorech, včetně úhlu iontové polarizace a povrchové vazebné energie iontů.

Rozprašující iontová hustota a rychlost rozprašování atomů kovu bude také ovlivněna tlakem, při kterém se plazma vytváří, tj. Tlak mtorr, který se může pohybovat od 10 do 10 do asi 10-2. Rychlost rozprašování materiálů, jako jsou izolátory a vodivé materiály, se sníží v důsledku nižších ionizačních potenciálů těchto materiálů.

Magnetron rozprašovací potahovací stroj

Multi-Arc iont & rozprašovací povlaky lze ukládat v široké škále barev. Zazvonění barev lze dále zvýšit zavedením reaktivních plynů do komory během procesu depozice. Obecně používané reaktivní plyny pro dekorativní povlaky jsou dusík, kyslík, argon nebo acetylen. Dekorativní povlaky se vyrábějí v určitém rozsahu barev, v závislosti na poměru kov k plynu v povlaku a struktuře povlaku. Oba tyto faktory lze změnit změnou depozičních parametrů.

Před depozicí jsou části vyčištěny, takže povrch je bez prachu nebo chemických nečistot. Po zahájení procesu povlaku jsou všechny příslušné procesní parametry nepřetržitě monitorovány a řízeny automatickým systémem řízení počítače.

• Materiál substrátu: Sklo, kov (uhlíková ocel, nerezová ocel, mosaz), keramika, plast, šperky.

• Typ struktury: Vertikální struktura, #304 nerezová ocel.

• Potahový film: Multifunkční kovový film, kompozitní film, Transparentní vodivý film, Film zvyšující odraznost, elektromagnetický stínící film, dekorativní film.

• Filmová barva: Multi Colors, Gun Black, Titanium Golden Color, Rose Golden Color, Color z nerezové oceli, fialová barva, tmavě černá, tmavě modrá a další další barvy.

• Typ filmu: Tin, CRN, Zrn, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialln a DLC.

• Spotřební materiál ve výrobě: titan, chrom, zirkonium, železo, cíl slitiny; Target rovin, válcový cíl, dvojčatý cíl, opačný cíl.

Podíl: