Běžná vakuová terminologie5

1.Difúze plynu ： Pohyby plynu v jiném médiu kvůli koncentračnímu gradientu. Médium může být další plyn (difúze v tomto případě se nazývá interdifúze) nebo kondenzovatelná látka.
2.d difúzní koeficient; Difuzivita ： Poměr absolutního hmotnostního průtoku na jednotku plochy k normální koncentrační gradient na jednotku plochy je získán. Čína PVD Plating Machine Dodavatelé
3.Viscus Flow ： Průměrná volná cesta molekuly plynu je mnohem menší než minimální velikost průřezu potrubí. Tok proto závisí na viskozitě plynu, který může být laminární nebo stagnující.
4.η viskózní faktor ： Poměr tangenciální síly k rychlostnímu gradientu na jednotku plochy ve směru gradientu rychlosti proudění vzduchu.
5.Sorpce ： Zachycení plynu nebo páry (adsorbate) pevnou nebo kapalinou (adsorbent) .

Podíl: