Běžné metody detekce vakuového úniku

Detekce úniku pomocí hmotnostní spektrometrie helia

Tato technologie je nepostradatelnou technologií v oblasti detekce vakuového úniku. Je široce používán při detekci úniku z důvodu jeho vysoké účinnosti detekce úniku, snadnému provozu, citlivé odezvě na přístroj, vysokou přesnost a ne Dodavatelé systémů potahovacích systémů v Číně snadno narušené jinými plyny. Detektor úniku hmotnosti helia je druh detekčního přístroje pro detekci plynu založeného na principu hmotnostní spektrometrie, který používá helium jako indikátor úniku. Skládá se z iontového zdroje, analyzátoru, sběratele, studeného katodového ionizačního měřidla, hmotnostní spektrometrické komory, výfukového systému a elektrické části. Elektrony emitované z vlákna v komoře hmotnostní spektrometrie oscilují tam a zpět v místnosti a srazí se s vnitřním plynem a heliem vstupujícím do místnosti přes netěsnou díru, aby ionizovaly do pozitivních iontů. Tyto ionty helia vstupují do magnetického pole pod levým a pravým mozkem zrychleného elektrického pole a vychýlí se kvůli působení Lorentzovy síly, tvoří kruhovou obloukovou oběžnou dráhu a změní zrychlené elektrické pole. Tlak umožňuje detekovat ionty různé hmotnosti dosažením přijímacího pólu prostřednictvím magnetických polí a přijímacími sloty. Metoda injekce helia a metoda absorpce helia jsou dvě běžně používané metody při detekci úniku hmotnostního spektrometru helia.