Jak ovlivňuje provozní tlak v magnetonovém rozprašovacím stroji kvalitu a uniformitu povlaku aplikovaného na substráty?
Provozní tlak hraje přímou roli při řízení rychlosti depozice rozprašovaného materiálu na substrát. Při nízkých tlacích se průměrná volná cesta - vzdálenost atomu rozprašovaně pohybuje, než se sráž...